一、氣震：一種是氣浮塊氣和周圍環境恰好發生諧振，在這時按下應急還是有聲音，稍微改變一下進氣壓力，改變氣體震動的頻率就可以消除震動了；還有一種是由于電機震動引起的，此時按下緊急應該就沒有聲音了。
二、電氣系統：電機的參數不合適，三坐標測量儀狀態有改變的時候可能會發生電震，會有很大的聲音，這時候如果按下應急鍵，響聲應該消失，在在發出聲音的同時手摸電機應該能感覺到明顯的震動。
三、機械部分，機器的傳動或者氣浮塊或者讀數頭在運動時有聲音，傳動可能有障礙，氣浮塊，讀讀數頭可能有摩擦，這類問題可以通過給機器供氣后，用手推動三坐標測量機有響聲的軸來判斷，如果是機械問題，這時候就可以聽到，可以找到發出聲音的部位。
